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扩散泵
扩散泵概述

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。现在生产的油扩散泵抽速已达到 100000 L/s 以上,扩散喷射泵的抽速也达 40000 L/s,蒸汽流真空泵在真空应用领域中起着十分重要的作用。由于扩散泵结构简单、操作和维护方便、使用寿命长、对各种气体均有较好的抽气特性,因而它一直是获得高真空的主要抽气设备。扩散泵主要特点有:1、抽速大,抽速范围为3000~50000 L/s六种规格。2、泵壁有上凹槽,冷却水管卧在凹槽内,增大了接触面积、冷却效果好。3、装有过热装置,防止泵油过热。通过观察窗可随时观察泵油的质和量。4、泵上设有注油口和放油口,换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下。最大允许前级压力高,为60 Pa。

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